반도체 및 LCD전공정장치 전문업체인 주성엔지니어링(대표이사 황철주)이 하이닉스 반도체의 미국현지법인인 Hynix Semiconductor Manufacturing America (HSMA)와 원자층증착장치(Atomic Layer Deposition / 제품명 Cyclone) 1대의 추가 공급계약을 체결하였다고 6월 24일 공식 발표하였다.

이번에 계약을 체결한 장치는 올해 주성이 하이닉스 양산라인에 이미 공급한 6대의 원자층증착장치와 동일한 200mm용 Semi Batch타입의 장치로 한 챔버 내에서 4장의 웨이퍼를 동시에 처리할 수 있는 2개의 챔버로 구성되어있으며 3분기 중에 HSMA 양산라인에 설치될 예정이다. 이로써 주성은 9대의 ALD 장치를 포함, 올들어 총 12대의 반도체 장치를 수주하였다.

주성의 원자층증착장치는 기존 원자층증착장치의 단점인 낮은 생산성을 극복하기 위해 Semi Batch란 새로운 개념을 적용하여 개발된 장치로 화학증착장치(Chemical Vapor Deposition)와 대등한 높은 생산성과 원자층 증착장치 특유의 정밀한 공정이 가능하며, 특히 그 동안 고객사의 양산라인에서 검증된 주성의 Cyclone 장치의 우수한 막질과 안정된 양산성을 바탕으로, ALD 장비의 본격 확산을 검토하고 있는 국내, 외의 많은 고객들로부터 집중적인 관심과 평가를 받고 있다고 관계자는 밝혔다.

주성 관계자는 지난해 1분기 대비 400%이상 증가한 524억원 매출 및 145억원 순이익을 1분기에 실현하였음을 강조하고 LCD장치 및 반도체 장치의 대량수주 및 양산으로 인해 안정적인 수익성 확보됨에 따라 당초 보수적으로 추정한 영업이익 및 당기순이익을 각각 321억원, 323억원으로 상향 조정한 바 있으며, 국내외 LCD 및 반도체 회사들의 지속적인 투자가 예상됨에 따라 장치의 추가 수주에 대한 전망이 밝다는 것을 강조하며, 연초에 설정한 주성 창립이래 최대 실적인 1,592억원의 매출 초과달성에 대한 가능성에 대해 강한 자신감을 표현했다.